在黄陵矿业，黄陵矿业党委书记、董事长王鹏飞对车万里一行的到访表示欢迎，详细介绍了黄陵矿业的历史沿革、经营成果、发展规划等情况，分享了安全生产管理体系创新、舆情信息化建设、成本核算管控、产能提升、综合利用、党建融合发展等方面的实践经验，在回顾与陕建机股份合作历程时，他希望双方进一步深化协同，在钢结构制作安装、矿用装备应用、塔机租赁服务等业务上加强对接，实现资源共享、同步发展。
在铜川矿业，铜川矿业党委书记、董事长雷铁山对车万里一行的到访表示欢迎，并详细介绍了铜川矿业的生产经营、安全环保、项目建设等基本情况，以及在智能化建设、绿色发展、装备升级等方面的发展规划和合作需求，对陕建机股份的技术实力和产品给予充分肯定，希望双方以此次座谈为契机，在矿用装备、塔机业务、工程配套服务等领域开展深度合作，携手应对市场挑战，实现互利共赢。
车万里对黄陵矿业和铜川矿业的热情接待表示感谢，详细介绍了陕建机股份的核心优势和定制化服务能力，他表示将充分发挥装备制造、工程建设、耗材配套等方面的优势，精准对接矿区需求，提供高性价比的产品和高效的服务保障。希望双方建立常态化沟通机制，在矿用耗材供应、电控液控产品配套、工程服务保障等方面拓展合作。
黄陵矿业、铜川矿业相关领导、部门负责人，陕建机股份领导班子成员，郑州恒达智控总经理、陕煤智控董事、总经理王俊甫及相关业务部门负责人参加交流座谈。
这项于2025年11月进行的大规模调查覆盖了超过1000个品牌，样本量达3.7万人。调查结果显示，日本不同世代对品牌的认知存在显著差距，尤其是在电子产品和汽车领域。
以丰田、松下、索尼为例，这些品牌在全世代综合排名中分别位列第26位、第4位和第10位，但在20岁以下受访者中，它们的排名分别跌至第149位、第27位和第40位。这一数据直观反映出传统强势品牌在年轻一代中的影响力正在衰退。
在20岁以下受访者群体中，品牌影响力前10名如下：
从数据中可以清晰地看到，Nintendo Switch在青少年群体中的品牌号召力远超其母品牌“任天堂”(第3位)以及“宝可梦”(第7位)和“迪士尼”(第10位)。值得注意的是，在全世代综合排名中，任天堂(第12位)和迪士尼(第14位)实际上都高于Switch(第59位)，但在青少年眼中，这台主机的地位却跃升至了顶尖水平。
这一结果并不令人意外。早前一项关于“日本玩家最爱游戏TOP100”的调查就曾揭示，在青少年玩家最喜爱的游戏中，绝大多数均为Nintendo Switch平台独占或可玩作品。其中，《我的世界》《堡垒之夜》《斯普拉遁3》《集合啦!动物森友会》等游戏牢牢占据青少年游戏榜单前列，而这些游戏的核心体验平台正是Switch。
日经的报道指出，对于当代日本青少年而言，游戏机早已超越了单纯的游戏工具属性，更是一种社交媒介和身份认同的载体。Nintendo Switch凭借其丰富的独占游戏阵容、便携与家用无缝切换的特性，以及在校园和社交圈中的高渗透率，成功在这代年轻人心中建立了超越传统品牌认知的情感连接。
精彩内容：
“会+展”深度融合｜作为第二十六届中国国际石油石化技术装备展核心主论坛。参会者“听论坛、逛展会”双线并行，一次行程实现“趋势研判+尖端装备考察”双重价值。
技术装备专题纵深研讨｜围绕油气勘探开发关键技术、数智化技术、以及绿色低碳等核心议题，油气田公司、科研院所、高等院校、企业专家之间深度对话，解读技术前沿，探讨“产学研用”协同机制。
独家行业情报首发｜释放“未来技术方向、企业采购需求”等稀缺行业情报，提供可落地“干货”，助力上下游企业把握先机。
01组织单位主办单位
中国国际石油石化技术装备展览会（cippe）组委会
石油技术与装备院校长论坛暨国际石油天然气产业大会组委会
成都理工大学
支持单位
中国石油天然气集团有限公司
中国石油化工集团有限公司
中国海洋石油集团有限公司
国家石油天然气管网集团有限公司
陕西延长石油（集团)有限责任公司
承办单位
北京振威展览有限公司
成都理工大学能源学院
油气藏地质及开发工程全国重点实验室
协办单位
中国石油大学（北京）
中国石油大学（华东）
上海大学
北京工业大学
西南石油大学
长江大学
东北石油大学
西安石油大学
重庆科技大学
中国石油集团油田技术服务有限公司
中石化石油工程技术服务股份有限公司
中海油田服务股份有限公司
中国石油集团工程技术研究院有限公司
中国石油勘探开发研究院
中国石油集团安全环保技术研究院
中国石油集团工程材料研究院有限公司
中石化石油工程技术研究院有限公司
中海油研究总院有限责任公司
中国石油集团大庆钻探工程有限公司
中国石油集团长城钻探工程有限公司
中国石油集团渤海钻探工程有限公司
中国石油集团川庆钻探工程有限公司
中石油集团东方地球物理勘探有限责任公司
中国石油集团测井有限公司
中国石油集团海洋工程有限公司
中石化胜利石油工程有限公司
中石化中原石油工程有限公司
中石化经纬有限公司
中石化石油工程地球物理有限公司
中石化石油工程建设有限公司
媒体支持
《成都理工大学学报》（自然科学版）
《石油钻采工艺》
《天然气工业》
《石油钻探技术》
《钻采工艺》
《石油机械》
《世界石油工业》
《石油工业技术监督》
《Subsurface Exploration and Exploitation》
石油与装备全媒体
立方石油
赛乐油气
石油同学
02学术委员会
03组织委员会
04会议主要内容
大会主论坛：
· 绿智融汇共生 合创能源未来
大会分论坛：
· 油气勘探开发关键技术分论坛
· 数智化暨高端装备技术分论坛
· 能源转型与绿色低碳发展分论坛
· 地下储气/储能技术分论坛
· 明日之星——硕博专场
05会议日程
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本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。
同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。
二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。
2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：
后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：
背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：
先进逻辑芯片制造
中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造（2024-2025 年）
外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
(李盘娟 马钰)
